PPS_2022_076 | EMOSION | Universiteit Twente | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 104.400 | — |
PPS_2022_065 | IMSYS-TD - Integrated Motion System Synthesis with Tailored Damping | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 425.000 | — |
PPS_2022_061 | Experimental validation of optical component imperfections modeling | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 425.000 | — |
PPS_2022_060 | Broadband Ptychography and Wavelength-Diversity for SXR | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 425.000 | — |
PPS_2022_057 | Metalenses - Multi-element metalenses for improved matching and chromatic correction | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 625.000 | — |
PPS_2022_056 | H2PSI - Understanding H2 plasma surface interaction | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 700.000 | — |
PPS_2022_055 | DDLC - Defect Driven Local Charging - Study & control of particles in a small vacuum gap with a high electric… | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 500.000 | — |
PPS_2022_051 | ThermOpt - Hybrid modelling and sensor/actuator layout optimization for thermal control in lithography | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 228.000 | — |
PPS_2022_049 | Semi-XOM - Smart Exposure, Metrology and Inspection through neXtgen Opto-Mechatronics | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 448.000 | — |
PPS_2022_042 | DACCLET - Dynamics of air entrapment in cooling circuits for lithographic exposure tools | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 228.000 | — |
PPS_2022_039 | Act4AgrMotion - Reliable actuators for aggressive motion conditions | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 236.000 | — |
PPS_2022_031 | Transposition 2022 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 248.690 | — |
PPS_2022_029 | SD2ACT 2022 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 271.685 | — |
PPS_2022_026 | Mátala 2022 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 70.114 | — |
PPS_2022_025 | Maestro 2022 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 226.546 | — |
PPS_2022_021 | Smart Hysteretic Piezoelectric Actuator for Set and Forget wafer table | Rijksuniversiteit Groningen | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 700.000 | — |
PPS_2022_019 | Determination of the state of target matter for EUV generation: advancing metrology | Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 491.000 | — |
PPS_2022_014 | Control and actuation of condition assessment tool | Stichting Materials innovation institute (M2i) | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 19.126 | — |
PPS_2022_013 | Algorithm development for monitoring of paintings degradation | Stichting Materials innovation institute (M2i) | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 38.251 | — |
PPS_2022_010 | Solutions for High Temperature Superconducting Motion Systems | Stichting Materials innovation institute (M2i) | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 379.496 | — |
PPS_2022_004 | Multiobjective novelty search for automated full design of optical lens systems | Universiteit Leiden | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 325.000 | — |
PPS_2022_003 | APSIM - Atomistic Plasma-Surface Interactions from Machine Learning | Universiteit Leiden | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2022 | € 686.300 | — |
KIACE-22-03362313 | Early-stage environmental decision-making for effective circular product designs | Techn. Universiteit Delft | Kennis en Innovatie Agenda-Circulaire Economie (KIA CE) | 2022 | € 367.372 | — |
PPS_2021_104 | ATOM - Advanced Transmissive Optics Materials for EUV | Universiteit Twente | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 237.500 | — |
PPS_2021_103 | WAFER - Wafer Actuating Films for Enhanced Resolution | Universiteit Twente | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 175.000 | — |
PPS_2021_088 | SPLASH - Systems and Portfolio development and Architecting using Systems engineering by Humans | Universiteit Twente | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 457.000 | — |
PPS_2021_086 | INSPEXT - In-Situ Pellicle Exposure and Transmission | Universiteit Twente | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 190.000 | — |
PPS_2021_081 | MEGABeam - Metamaterial and Origami-based Beam Flexure for High-tech Precision Mechanisms | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 245.000 | — |
PPS_2021_074 | Metrology, physically correct modeling and full surface specification | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 375.000 | — |
PPS_2021_068 | Advanced electronics for low-energy electron detectors | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 525.000 | — |
PPS_2021_062 | MIEP - MEMS materials in EUV-induced plasma | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 500.000 | — |
PPS_2021_057 | PICOSTAR - Photonic Integrated COherence Scrambler Through phased Arrays | Universiteit Twente | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 1.050.000 | — |
PPS_2021_054 | AdvAR4AIServ - Advanced Augmented Reality Solutions for AI-based Servitization | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 320.000 | — |
PPS_2021_049 | Low Pressure Particle - Gas/Wall - Interaction | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 200.000 | — |
PPS_2021_047 | Dual purpose fluid bearing | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 200.000 | — |
PPS_2021_035 | Transposition 2021 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 246.340 | — |
PPS_2021_034 | TheXel 2021 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 70.854 | — |
PPS_2021_030 | Maestro 2021 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 226.787 | — |
PPS_2021_029 | ADiA 2021 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 228.644 | — |
PPS_2021_028 | Programma 2020 NWO-I - ARCNL | Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 1.050.000 | — |
PPS_2021_027 | MMF coherence tuning - Tuning spatial coherence via a multimode fiber for metrology | Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 480.000 | — |
PPS_2021_013 | Ageing of paints and paintings for a digital twin | Stichting Materials innovation institute (M2i) | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 35.943 | — |
PPS_2021_006 | QUMOC - Quantum Mechanical Modeling of Contaminant Adsorption on Ru Surfaces | Universiteit Leiden | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2021 | € 920.000 | — |
PPS_2020_074 | Ideal Dectectors - Towards the Ideal Si-based UV imager | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 450.000 | — |
PPS_2020_067 | GHz ultrasound imaging at the nanoscale | Technische Universiteit Delft | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 440.000 | — |
PPS_2020_063 | Maestro 2020 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 216.135 | — |
PPS_2020_062 | ADiA 2020 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 222.012 | — |
PPS_2020_061 | TheXel 2020 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 66.128 | — |
PPS_2020_060 | Transposition 2020 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 237.425 | — |
PPS_2020_053 | Analysis into color fading mechanisms | Stichting Materials innovation institute (M2i) | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 35.239 | — |
PPS_2020_034 | ML4Control - Machine Learning for High-Precision Motion Control | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 325.000 | — |
PPS_2020_032 | 3D SEM imaging - 3D imaging with scanning electron microscopy | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 335.000 | — |
PPS_2020_026 | PCSI - Partnership for Cyber Security Innovation | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 1.315.000 | — |
PPS_2020_015 | Programma 2019 NWO-I - ARCNL | Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 1.050.000 | — |
PPS_2020_006 | Friction Drift - Predicting (and controlling) wafer-on-wafer table friction in the Lab | Stichting Nederlandse Wetenschappelijk Onderzoek Instituten | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 1.050.000 | — |
PPS_2020_005 | PLASIMO - Kinetic-Fluid Hybrid Plasma Model with Mesoscopic Plasma-Surface Interactions | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 500.000 | — |
PPS_2020_003 | PhotoLitho - Aberration compensation and surface charging | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 648.000 | — |
PPS_2020_002 | Model Reduction - Model Reduction in a Modular Framework | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 250.000 | — |
PPS_2020_001 | Hard X-Ray - Hard-X-Ray source for Wafer Metrology | Technische Universiteit Eindhoven | PPS-toeslag Onderzoek en Innovatie | 2020 | € 1.150.000 | — |